Астел: Елипсометърът Auto SE на Horiba Scientific предлага пълен автоматизиран анализ на тънки слоеве с натискането на един бутон

Японското дружество Horiba Scientific е утвърден световен доставчик на широка гама от аналитични инструменти и системи за научноизследователска и развойна дейност, мониторинг на процеси и измерване на качеството. Портфолиото на разработчика включва разнообразие от съвременни спектроскопски елипсометри за измерване на тънки слоеве, включително за т.нар. „in situ“ приложения. „Оборудването е подходящо за измерване на тънки слоеве с дебелина от едва няколко ангстрьома (10^-10 m) до няколко микрометра (10^-6 m), осигурявайки информация за оптични характеристики, състав, анизотропия, кристалност и хомогенност“, съобщиха за Инженер.bg от доказаната българска търговска компания Астел, която е официален представител на Horiba Scientific у нас.

Спектроскопският елипсометър, модел Auto SE, включен в гамата на Horiba Scientific, представлява нов инструмент за измерване на тънки слоеве, който позволява цялостен автоматичен анализ на проби с натискането на само един бутон. Измерването на образците отнема няколко секунди и осигурява пълен отчет, който описва всички необходими характеристики, включително дебелина на слоя, оптични константи, грапавост и хомогенност на повърхността.

„Auto SE на Horiba Scientific е многофункционален инструмент, който извършва автоматичен XYZ анализ, предоставя информация за измерените характеристики в реално време и прави автоматичен избор между седем размера на измервателното поле. Решението е разработено на базата на патентована визуализираща система MyAutoView, която позволява на оператора всеки път да извършва измерване с висока прецизност на точното място на образеца“, поясниха специалистите от Астел.

Auto SE разполага с вградени индикатори за автоматично откриване и диагностика на проблеми, осигурявайки изчерпателни насоки към операторите за улеснено отстраняване на неизправностите. Елипсометърът се предлага  с разнообразие от аксесоари, които допълнително разширяват обхвата му на приложение в производството – от полуповодници (LED, диелектрици, полимери, PZT, GaN и AlGaN лазерни диоди) до фотоволтаични устройства и функционални покрития (антирефлексни, самопочистващи се, електрохромни, огледални и др.).

Технически характеристики на спектроскопски елипсометър Auto SE:

• Спектрален обхват: 440-1000 nm;
• Време на измерване: < 2 s, обикновено 5 s;
• Размери на полето: автоматичен избор между 500x500 µm, 250x500 µm, 250x250 µm, 70x250 µm, 100x100 µm, 50x60 µm и 25x60 µm;
• Детекция: CCD с резолюция 2 nm;
• Преглед на пробите: CCD камера (зрително поле 1.33x1 mm и резолюция 10 µm);
• Гониометър: фиксиран на 70° с възможна настройка на 66° и 61.5°;
• Точност: NIST 100 nm d ± 4 Å, n (632.8 nm) ± 0.002;
• Повторяемост: NIST 15 nm ± 0.2 Å;
• Разнообразие от налични аксесоари.

Спектроскопският елипсометър се отличава със своите лекота на използване, множество автоматични функции и измерване за секунди, които го превръщат в решение, подходящо за рутинно измерване на тънки слоеве, както и за контрол на качеството на разнообразие от устройства. „Auto SE е високотехнологичен инструмент с подобрена функционалност и гъвкавост, позволяващи не само измерване на дебелината на слоеве, но също така и анализ на състава на разнородни материали и визуализация в реално време на стуктурни промени в пробите“, допълниха още от българската компания.

Източник на снимковия материал: Астел, Horiba Scientific, pixabay.com