Астел: Новото поколение елипсометър UVISEL Plus на Horiba Scientific е еталон при измерването на тънки слоеве и оптични константи

Horiba Scientific е водещ международен лидер в областта на научните измервателни уреди, специализиран в разработката и производството на високопрецизни инструменти за спектроскопия. В сферата на елипсометрията, дружеството предлага широка гама от съвременни системи за измерване на тънки и многослойни материали, както и на различни оптични константи за научни и индустриални приложения. „Елисометърът UVISEL Plus предлага изключително конкурентна комбинация от модулен дизайн и висока производителност, осигуряваща усъвършенствано характеризиране на тънки слоеве и повърхности“, съобщиха за Инженер.bg от утвърденото българско търговско дружество Астел, официален представител на Horiba Scientific у нас.

Иновативният апарат UVISEL Plus е разработен на базата на най-съвременни технологии за бърз и високоточен анализ чрез двойна модулация, предназначена за характеризиране на тънки слоеве в реални условия. Елипсометърът използва т.нар. FastAcq метод, базиран на нов електронен и високоскоростен монохроматор за обработване на данни, което позволява измерване на проби с дебелина от 190 до 2100 nm в рамките на 3 min, при висока разделителна способност.

UVISEL Plus е най-универсалният модел спектроскопичен елипсометър на Horiba Scientific с приложение в областта на изследването и обработката на материали, дисплеи с плоски панели, микроелектроника и фотоволтаици. Оптичният дизайн, заложен в апарата, осигурява на потребителите прецизно покриване на спектралния обхват от 190 до 2100 nm по време на анализ. Получените данни са с първокласно качество, които се доставят в целия спектрален диапазон с отлично съотношение сигнал/шум от FUV (далечни ултравиолетови лъчи) към NIR (близки инфрачервени лъчи).

„Използваната технология за фазова модулация се отличава също с голямата си честота (50 kHz) на работа и липсата на всякакво механично движение. Това води до много висока скорост на събиране на данни (до 50 ms/точка), превръщайки елипсометъра UVISEL Plus в оптимално решение за кинетични изследвания и измервания на място в реално време“, поясниха от българското дружество.

Благодарение на иновативните си технологии UVISEL Plus предоставя по-висока чувствителност и точност при охарактеризиране на тънки слоеве в сравнение с конвенционалните елипсометри, използващи въртящи се елементи. В допълнение, модулният дизайн на апарата дава възможност той да се използва не само като настолен метрологичен инструмент, но също и за интегриране в процесни камери и машини.

Техническите характеристики и предимства на UVISEL Plus включват:

• Липса на движещи се части по време на формирането на сигнала;
• Липса на допълнителни компоненти в оптичния път;
• Висока честота на модулация (50 kHz);
• Измерване на ъглите Ψ (0–90°) и Δ (0–360°) в целия им диапазон.

„Внедряването на комбинация от технология за фазова модулация и висококачествен ахроматичен оптичен дизайн в апарата осигурява резултати от световна класа при измервания на дебелината на тънки слоеве и оптични константи. За още по-голяма гъвкавост, към решението се предлага и разннобразие от опционални възможности и аксесоари, сред които моторизирана XY или въртяща се плоча, автоматичен гониометър, модул за рефлектометрия, трансмисия, камера и др.“, допълниха още специалистите от Астел.

Източник на снимковия материал: Астел, Horiba Scientific, pexels.com